适用于医学科技的湿法化学和真空沉积技术

参考资料

德国新格拉斯科技集团20年来为半导体、太阳能和汽车行业生产设备,满足了这些领域的高质量要求。2017年集团 为医学技术提供湿法化学和真空沉积设备。集团开发的新工艺设备MEDLINE Clean可以清除隐形眼镜上的残余物 质,并在镜片上加一道涂层工序。生产设备为模块化设计,可用于多种应用,甚至是眼科以外的领域。

应用范围涵盖人工装载的湿化学工具清洗设备到适用于大批量生产的全自动清洗、修整、涂层或蚀刻平台。经批准, 新格拉斯的湿法工作台可用于医学技术范围内各种不同材料。大批量生产设备以及针对特殊应用的定制工具不但可以 加工大尺寸的平基板,也可以加工小型三维零件和薄件。

在真空沉积领域,德国新格拉斯科技集团自1995年创立以来已成功交付8000台以上真空溅射设备。真空沉积法包括 物理气相沉积(PVD、溅射)以及等离子体化学气相沉积(PECVD)。另外,也能使用非真空沉积法(如CVD或者 气溶胶辅助CVD(AACVD))。等离子清洗和等离子表面修整等应用也包含其中。

各种沉积材料(例如各种金属、金属合金和陶瓷等)均可用于各种应用。不管是平基板还是三维零件都可以通过使用 不同方向同步沉积或者沉积过程中旋转零件的方法来进行加工。

集团的生产设备具备单基板/零件跟踪、在线质量控制、闭环工序稳定等特征,作为全自动设备能够减少物流操作并 降低人工劳动强度。

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