SELENIUS Evaporation System
用于CIGS/CIS薄膜太阳能电池的真空蒸镀设备
用于薄膜太阳能的真空蒸镀设备
该真空蒸镀设备用于CIGS相关材料的热蒸镀。具体应用于CIGS薄膜太阳能电池中铜-铟-镓-硒层的沉积。该真空蒸镀设备由传输系统、多个加热/冷却站和沉积腔体组成。它能提供尖端的热沉积技术，该技术材料利用率高，膜层厚度非常均匀。该设备融合稼动率和机械良率高的特点，可谓最佳最灵活的生产平台。
主要特点
- 高产能
- 模块化腔室设计
- 布局可灵活多变，以满足不同客户的生产需求
- 独特的腔室设计，确保蒸发源利用率最大化(腔室壁上沉积最小化)
- 较快的沉淀速度和较高的工艺重复性
- 极佳的流体均匀性
- 方便快速的蒸镀源补充/更换
- 温度均匀性优良
- 基片预加热功能
- 实时监控流量和温度