SELENIUS Evaporation System

用于CIGS/CIS薄膜太阳能电池的真空蒸镀设备

参考资料



用于薄膜太阳能的真空蒸镀设备

该真空蒸镀设备用于CIGS 相关材料的热蒸镀。具体应用于CIGS 薄膜太阳能电池中铜-铟-镓-硒层的沉积。该真空蒸镀设备由传输系统、多个加热/冷却站和沉积腔体组成。它能提供尖端的热沉积技术,该技术材料利用率高,膜层厚度非常均匀。该设备融合稼动率和机械良率高的特点,可谓最佳最灵活的生产平台。

主要特征

  • 高产能
  • 模块化腔室设计
  • 布局可灵活多变,以满足不同客户的生产需求
  • 独特的腔室设计,确保蒸发源利用率最大 化(腔室壁上沉积最小化)
  • 较快的沉淀速度和较高的工艺重复性
  • 极佳的流体均匀性
  • 方便快速的蒸镀源补充/更换
  • 温度均匀性优良
  • 基片预加热功能
  • 实时监控流量和温度

设施必须符合场地要求,才能满足现代高新高产能生产线的需求。为此,德国新格拉斯科技集团为以下先进技术设施设计、建造并提供生产相关的设备和服务。

  • 能源/光伏
  • 生命科学
  • 医药&化学
  • 半导体
  • 表面工程

在上述应用领域,我们可以为客户提供高质量的EPC解决方案(工程、采购和建设),在遵守国际和当地法规、尊重人类和环境安全的前提下,满足对耗件和设备质量及数量的要求。

咨询及规划

  • 场地评估&选择
  • 可行性研究
  • 场地总体规划
  • 规划和概念设计研究
  • 总体研究&模拟
  • 工艺技术和设备评估
  • 可持续性分析和能源型效率审计
  • 成本和进度模型
  • CoO计算

  • 所有工程学科的基础、初步和详细设计
  • 设备系统集成
  • 空间管理
  • 建筑信息模型
  • 许可、代码&环境规范
  • 价值工程&优化成本
  • 早期组合包研发
  • 协助获取许可证
  • 工程、施工和总承包(EPCM & EPC)

(预)施工和项目管理

  • 商务管理
  • 设计管理
  • 空间管理
  • 工程管理
  • 合同管理
  • 启动&调试
  • 完工资料
  • 保修管理
  • 工程、施工和总承包(EPCM & EPC)

  • 工艺设备服务
  • 持续的框架服务
  • 设施系统优化&基准化分析
  • 工作包安装
  • 技术人员
  • 工程、施工和总承包(EPCM & EPC)
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