LINEX

适用于高效太阳能电池生产的在线湿法处理设备如PERC、TOPCon和激光掺杂选择性发射极等

参考文献

PV技术为世界发电

德国新格拉斯科技集团为晶硅和薄膜高效太阳能电池平台提供技术解决方案。德国新格拉斯科技集团为客 户提供适用于生产晶硅、CIGS/CdTe和其它制式的太阳能电池生产设备。电池概念方面的进化，如PERC - HJT – TOPCon –Tandem等电池将驱动晶硅太阳能电池的未来。集团核心技术包括湿法化学处理、物理增 强化学气相沉积（PECVD、PVD、蒸发）、表面工程和热加工等专有技术。

未来电池概念：TOPCon太阳能电池

隧道氧化层钝化接触（TOPCon太阳电池）基于覆盖掺杂硅薄膜的超薄隧道氧化层，具有优良的钝化和接触 性能。到目前为止，该电池效率已达到25.7 %。德国新格拉斯科技集团为TOPCon高效太阳能电池生产提 供重要生产步骤：在线湿法处理和真空沉积（PVD & PECVD）。

LINEX 适用于高效电池概念的设备*

去除多晶硅：
去除TOPCon电池单面的绕镀多晶硅

WetTo 应用：
用于TOPCon电池的隧道氧化物形成

碱性化学边缘隔离：
TOPCon、PERC、LD SE PERC的电气隔离

碱性制绒：
超短工艺时间，出众的美学效果

臭氧：
先进清洁技术

控制、精确、智能
→ 采用集成工艺控制的全自动在线湿法处理设备
→ 紧凑的工艺模块运用了创新介质和工艺管理
→ 简单牢固的晶圆传输系统
→ 全自动气流控制阀，提供最佳工艺条件
→ 每个通路可追踪晶圆
→ 根据要求在线测量晶圆厚度和反射率

安全、洁净、便于使用
→ 工艺过程可靠、环保、安全
→ 按照ISO和SEMI标准设计的洁净室
→ 根据要求可达到UL、SEMI和其它标准
→ 通过工艺介质轻柔地运输晶圆

* 可适用于其它应用程序

标准性能特征

→ 可作研发工具，全部集成后为10道设备
→ 在5道或10道设备中碱化工艺可达90 °C
→ 单面碱化蚀刻至5 μm
→ 无NOx边缘隔离
→ 为氧化和清洁工序集成臭氧，每槽可达到50 ppm
→ 晶圆表面介质流动均匀一致
→ 易集成新/附加工艺选项
→ 最高可达99 %的稼动率
→ 低运行成本
→ 低至0.01 %的破损率
→ 最小占地面积，与竞争对手设备相比节省多达40 %的占地面积
→ 晶圆/基板尺寸的高度灵活性
→ 晶圆尺寸可在10分钟内改变
→ 晶圆厚度可从80 μm到210 μm
→ 干燥温度范围从室温到60 °C