LINEX

适用于清洁、碱性与酸性蚀刻、单面加工、抛光蚀刻、 去磷硅玻璃和臭氧应用的在线湿法处理设备

参考文献

PV 技术为世界发电

德国新格拉斯科技集团为晶硅和薄膜高效太阳能电池 平台提供技术解决方案。

德国新格拉斯科技集团为客户提供适用于生产晶硅和 CIGS/CdTe太阳能电池的设备,携手世界各地的电池 制造商共同改进生产工艺,在提高太阳能电池的效率的 同时降低生产成本。电池概念方面的进化,如PERC - HJT – TOPCon –Tandem等电池将驱动晶硅太阳能电 池的未来。集团核心技术包括真空薄膜涂层(PECVD, PVD, 蒸发)、表面工程、湿法化学处理和热加工等专有 技术。

未来电池概念:TOPCon太阳能电池
隧道氧化层钝化接触(TOPCon太阳电池)基于覆盖 掺杂硅薄膜的超薄隧道氧化层,具有优良的钝化和接 触性能。到目前为止,该电池效率已达到25.7 %。

德国新格拉斯科技集团为TOPCon高效太阳能电池生产 提供重要生产步骤:在线湿法处理和真空沉积(PVD & PECVD)。

 

LINEX

在线湿法处理设备

德国新格拉斯科技集团为用于标准及高效电池生产线 的硅晶片湿法处理提供完整的自动化干进/干出解决 方案。

不断完善的工艺管理理念和创新解决方案的集成为新 一代水平式湿法处理设备的开发奠定了基础。

除了这些成熟的工艺,设备还适用于单面处理、抛光 蚀刻、发射极蚀刻和臭氧处理等新型应用。高度集成 的设计、高产能、高可靠性和低破损率使LINEX获得 世界各地的太阳能电池制造商青睐。<br/><br/>


标准性能特征

  • 可作研发工具,完全集成后为10道设备
  • 在5道或10道设备中碱化工艺可达90 °C
  • 抛光蚀刻至10 μm
  • 臭氧集成
  • 晶圆表面介质流动均匀
  • 线路流动条件一致
  • 易集成新/附加工艺选项
  • 最高可达98 %的稼动率
  • 高产量和最优性能
  • 低运行成本
  • 低至0.01 %的破损率
  • 占地面积小
  • SSE至5 μm


控制、精确、智能

  • 采用集成工艺控制的全自动在线湿法处理设备
  • 紧凑的工艺模块运用了创新介质和工艺管理
  • 简单牢固的晶片传输系统
  • 硅晶片表面与加工介质的无暗影接触
  • 晶片的追踪和厚度测量


安全、洁净、便于使用

  • 工艺过程可靠、环保、安全
  • 按照ISO和SEMI标准设计的净化室
  • 通过工艺介质进行温和晶片运输
  • 可从各个侧面进入工艺模块

LINEX 工艺应用

最终清洗 (单晶硅/多晶硅):

晶片隔离后用超声波&添加剂清洗硅片

碱性制绒(单晶硅):

超短工艺时间,出众的美学效果

单面蚀刻 :

适用于TOPCon应用的a-Si单面蚀刻

单面抛光 (单晶硅/多晶硅):

高达5 μm的酸性或碱性背面抛光

臭氧:

先进清洁技术

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