LINEX

产品 | 主要特征 | 参考资料

德国新格拉斯科技集团为用于标准及高效电池生产线的硅晶片湿法处理提供完整的自动化干进/干出解决方案。

不断完善的工艺管理理念和创新解决方案的集成为新一代水平式湿法处理设备的开发奠定了基础。

LINEX是用于清洁和蚀刻晶体太阳能硅晶片的水平式在线湿法处理平台,将先进的运输系统、可持续的创新工艺模块与成熟而有效的化学蚀刻和清洁工艺进行完美结合。

除了这些成熟的工艺,设备还适用于较新颖的应用,例如抛光蚀刻、发射极蚀刻和臭氧处理等。高度集成的设计、高产能、高可靠性和低破损率使LINEX获得世界各地的太阳能电池制造商青睐。

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