德国新格拉斯科技集团 – 适用于半导体行业的纳米涂层

参考资料

德国新格拉斯科技集团为研究机构供应了多台设备用于半导体主要制造商的研发,从而累积了大量经验和知名度。集团 作为先进薄膜沉积设备领域的著名生产商,是业界值得信赖的合作伙伴,并将持续巩固其在半导体薄膜沉积技术方面的 领先地位。德国新格拉斯科技集团旗下的TIMARIS和ROTARIS真空涂层设备基于阴极溅射(物理气相沉积=PVD)原理运 行。客户能够将设备用于多个产品领域。集团的PVD工具为各种应用提供完整的处理模块组合。由不同材料组成的功能 层可选各种不同的厚度,约0.2mm厚的极薄层被应用于纳米技术领域。

应用范围包括传感器技术,例如用于医学技术和汽车工业、微机电系统(MEMS)、EUV技术、磁阻式随机存取记 忆体(MRAM)和“物联网”应用。MRAM芯片为非挥发性的,也就是说,它在不需要电源的情况下就可以保存信 息。凭借即时迅速的MRAM芯片,计算机一旦开启就能立即运行,移动设备尤其是笔记本、移动电话、平板电脑、 整理器都将从这项新技术中得益。 此外还可以制造小型重要零件或芯片实验室,其中芯片实验室能够在塑料卡大小 的塑料基板上加入宏观实验室的全部功能。借此可以快速进行化学合成和分析诊断(例如癌症)。传感器还可以应用 于汽车车辆技术。

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