德国新格拉斯科技集团 – 适用于半导体行业的纳米涂层

德国新格拉斯科技集团是先进薄膜沉积设备领域的著名生产商,其生产的设备适用于MRAM存储器、薄膜读写头、传感器和其它半导体应用。集团迅速成为业内值得信赖的合作伙伴和市场领跑者,尤其是在薄膜沉积技术领域。

近来,德国新格拉斯科技集团研发并完善的第二代TIMARIS PVD组合工具平台已投入市场,并为不同的应用晶片提供完整的工艺模块组合。该设备能将超薄金属和绝缘薄膜层的沉积厚度控制在1纳米以下,并保证精确的材料厚度和高均匀度。

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先进工艺技术

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