VITRUM II

在线湿法设备,用于蚀刻、清洗与单面镀膜

参考资料



VITRUM II Cover是VITRUM 系列产品中的新工艺设备,专门用于以单一工序来清洁薄膜太阳能电池的后侧和边缘部位包裹的涂层。在用刷子和化学品清洁边缘和后侧的同时,活性层得到了工艺罩的保护。因此VITRUM II 罩最适用于槽式镀膜工艺过程之后的清洁,以及对后侧和边缘不需要的覆膜进行蚀刻,如CdTe 或 CdS。

VITRUM II 的模块化设计便于根据CIS、 a-Si 或CdTe 技术(蚀刻、后侧和衬底边缘蚀刻、清洗以及单侧覆膜)整合不同工序。

主要特点

  • 模块化设计
  • 最多节省30 %的成本
  • 更容易的进入维护
  • 占地面积较小
  • 使用成本低
  • 高产能
  • 高可靠性(架动率> 99 %*)
  • 标准衬底和客户定制的衬底最大达2,600 毫米
  • 高产能平行载具
  • 可重复的工艺结果


*取决于具体应用

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