垂直运输基材的在线溅射设备

适用于不同应用的模块化溅射设备

参考资料

VISTARIS溅射设备

德国新格拉斯科技集团为行业提供工艺成熟的溅射设 备——垂直基板运输的VISTARIS设备,目前主要应用于 CIGS & CdTe薄膜太阳能电池的生产。凭借先进的工 艺技术,该设备能够在提高薄膜电池效率的同时降低生 产成本。在光伏技术方面,集团开发并制造的涂层设 备可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜。在光伏领域以 外,该设备还能为大型玻璃表面等其它应用提供理想条 件,例如以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组 成的多层前驱体涂层。VISTARIS设备适用于ITO, AZO等 溅射材料和Mo、Al、Cu、Ag、NiV等金属层,其主要 优势在于可以用来对玻璃衬底进行真空立式涂层。

标准性能

  • 垂直大面积PVD溅射设备,适用于无颗粒工艺要求
  • 承载器用于基板运输
  • 已制造的设备最大尺寸为1.4 m x 1.6 m,能达到的最大尺寸为3.2 m x 4 m
  • 生产节拍:可达到每个承载器45秒
  • 通过旋转式圆柱形磁电管最大程度使用靶材
  • 沉积前和沉积中可对温度进行控制
  • 可用直流、脉冲直流、双极和射频
  • 溅射材料:ITO, AZO和Mo, Al, Cu, Ag, NiV等金属层
  • 真空底压:< 1 x 10-6 mbar
  • 标准工艺压力: 2 - 8 x10-3 mbar
  • 无须承载器传送装置
  • 沉积温度:可高达200 °C
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