垂直运输基材的在线溅射设备

适用于垂直基板运输的在线生产设备

参考资料

VISTARIS溅射设备

德国新格拉斯科技集团为满足光伏产业的需求研发了 VISTARIS设备，这类在线溅射设备对如今的CIGS & CdTe薄膜电池生产起着重要的作用。凭借先进的工艺 技术，设备能够在提高薄膜电池效率的同时降低生产 成本。在光伏技术方面，集团开发并制造的镀膜设备 可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜。

以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多 层前驱体涂层为例，该设备的主要优势在于，它可以 用来对玻璃衬底进行真空立式镀膜。德国新格拉斯科 技集团将生产CIGS/CIS电池的工艺设备提升到新的生 产阶段。

标准性能特征

• 集成供电设计

• 不需来回运输

• 完全垂直定向运输

• 独特的运送系统

• 在设备同一侧装载和卸载基板

• 通过使用旋转圆柱形磁电管实现最大程度使用靶材

• 沉积前和沉积中可控制温度

• 通过动态阀和/或独立闸室分离气体

• 通过改变腔室方向达到最小占地面积

• 简易维护，低运行成本

• 快速更换靶材，适用于各供应商的靶材

• 易于扩大生产

• 真空底压：< 1 x 10-6 mbar

• 标准工艺压力：2 - 5 x10-3 mbar

 

VISTARIS垂直基板运输的在线溅射设备

适用于不同应用的模块化溅射设备

VISTARIS垂直基板运输的在线溅射设备

德国新格拉斯科技集团为满足光伏产业的需求，尤其 是CIGS & CIS薄膜电池的生产研发了VISTARIS设备。 凭借先进的工艺技术，设备能够在提高薄膜电池效率 的同时降低生产成本。在光伏技术方面，集团开发并 制造的镀膜设备可以镀特殊膜以及不同材料的多层 膜。在线溅射设备在如今的薄膜太阳能电池生产中起 着重要作用。

以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多 层前驱体涂层为例，该设备的主要优势在于，它可以 用来对玻璃衬底进行真空立式镀膜。德国新格拉斯科 技集团将生产CIGS/CIS电池的工艺设备提升到新的生 产阶段。

适用于PV应用的标准靶材

• 溅射材料：ITO, AZO, CuGa, Cu, In, AZO, i-ZnO等