CISARIS
硒化反应炉，用于形成理想的CIGS吸收层
CISARIS 反应炉是一种在线快速热处理RTP设备，用于在大面积玻璃衬底上形成CIGSSe吸收层。CISARIS由一个装卸站、一个真空密封工艺站以及一个回转传送带构成，是大规模生产CIS太阳能组件的理想设备。
CISARIS的主要特点包括高开动率、高机械成品率、快生产节拍，再加上强大的硒化工艺，根据配置的不同，能实现年均25 MWp以上的生产能力。
主要特点
- 第二代在线硒化加热炉，优化了生产节拍
- 对带有金属前驱体涂层（CIG） 的玻璃衬底 进 行快速加热（高达 4 °C/秒）
- 均匀的气体分布，通过优化进气系统而降低了耗 气量
- 可在各种工艺过程阶段引进硫化氢和硒化氢气体
- 通过运用优化的红外线辐射器而将大型衬底均匀加 热到 600 °C 以上，从而按要求保证结晶质量
- 将衬底均匀冷却，避免玻璃翘曲变形
- 在各工艺过程阶段都能实现优异的温度控制（平均 温度变化 < 5 °C）
- 在大气压强下进行真空工艺处理
- 通过抽真空和吹扫循环保证了工艺过程环境中没有 氧气和水蒸气
- 先进的维修理念，所有机器部件都能最方便维护
- 成熟的安全系统源于可靠的风险管理和安全工程 设计
CISARIS最近由德国新格拉斯科技集团根据上一代的硒化反应炉研发而成，是一种成熟而富于创新而可靠的设备。
CISARIS可以在温度高达600 °C以上 的有毒腐蚀性气体环境中，对1平方米以上的大型玻璃衬底进行安全的热加工。出色的加热和冷却速度，再加上在各加工阶段都能保持优异的温度均匀性，使得生产高效能太阳能模块所需的理想CIGSSe吸收层得以形成。