SELENIUS Evaporation System

用于CIGS/CIS薄膜太阳能电池的真空蒸镀设备

用于薄膜太阳能的真空蒸镀设备

该真空蒸镀设备用于CIGS相关材料的热蒸镀。具体应用于CIGS薄膜太阳能电池中铜-铟-镓-硒层的沉积。该真空蒸镀设备由传输系统、多个加热/冷却站和沉积腔体组成。它能提供尖端的热沉积技术,该技术材料利用率高,膜层厚度非常均匀。该设备融合稼动率和机械良率高的特点,可谓最佳最灵活的生产平台。

主要特点

  • 高产能
  • 模块化腔室设计
  • 布局可灵活多变,以满足不同客户的生产需求
  • 独特的腔室设计,确保蒸发源利用率最大化(腔室壁上沉积最小化)
  • 较快的沉淀速度和较高的工艺重复性
  • 极佳的流体均匀性
  • 方便快速的蒸镀源补充/更换
  • 温度均匀性优良
  • 基片预加热功能
  • 实时监控流量和温度
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