LINEX

适用于清洁、碱性与酸性蚀刻、单面加工、抛光蚀刻、去磷硅玻璃和臭氧应用的在线湿法处理设备

PV技术为世界发电

德国新格拉斯科技集团为晶硅和薄膜高效太阳能电池提供技术解决方案。

集团为客户提供适用于生产晶硅和CIGS/CdTe太阳能电池的设备,其核心技术包括真空薄膜涂层(PECVD、PVD、蒸发)、表面工程、湿法化学处理和热加工等专有技术。

德国新格拉斯科技集团携手世界各地的电池制造商共同改进生产工艺,在提高太阳能电池的效率的同时降低生产成本。电池概念方面的进展,如PERC(PERC/ PERT)、双面PV产品、以及向n型材料、异质结电池或IBC电池的转型将推动晶硅太阳能电池的未来。

LINEX

在线湿法处理设备

德国新格拉斯科技集团为用于标准及高效电池生产线的硅晶片湿法处理提供完整的自动化干进/干出解决方案。

不断完善的工艺管理理念和创新解决方案的集成为新一代水平式湿法处理设备的开发奠定了基础。

LINEX是用于清洁和蚀刻晶体太阳能硅晶片的水平式在线湿法处理平台,将先进的运输系统、可持续的创新工艺模块与成熟而有效的化学蚀刻和清洁工艺进行完美结合。

除了这些成熟的工艺,设备还适用于较新颖的应用,例如抛光蚀刻、发射极蚀刻和臭氧处理等。高度集成的设计、高产能、高可靠性和低破损率使LINEX获得世界各地的太阳能电池制造商青睐。

LINEX主要特征

标准性能特征

  • 可作研发工具,完全集成后为10路设备
  • 在5路或10路设备中碱化工艺可达90°C
  • 抛光蚀刻至10μm
  • 臭氧集成
  • 晶圆表面介质流动均匀
  • 线路流动条件一致
  • 易集成新/附加工艺选项
  • 最高可达98%的稼动率
  • 高产量和最优性能
  • 低运行成本
  • 低至0.01%的破损率
  • 占地面积小
  • SSE至5μm

控制、精确、智能

  • 采用集成工艺控制的全自动在线湿法处理设备
  • 紧凑的工艺模块运用了创新介质和工艺管理
  • 简单牢固的晶片传输系统
  • 硅晶片表面与加工介质的无暗影接触
  • 晶片的追踪和厚度测量

安全、洁净、便于使用

  • 工艺过程可靠、环保、安全
  • 按照ISO和SEMI标准设计的净化室
  • 通过工艺介质进行温和晶片运输
  • 可从各个侧面进入工艺模块

LINEX工艺应用

最终清洗(单晶硅/多晶硅):
晶片隔离后用超声波&添加剂清洗硅片

碱性制绒(单晶硅):
在晶片最上层加入KOH和添加剂

酸性制绒(多晶硅):
去除晶片的切割损伤和表面处理

单面抛光(单晶硅/多晶硅):
酸性背面蚀刻

单面抛光(单晶硅/多晶硅):
酸性背面蚀刻至5μm

臭氧:
先进清洁工艺

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