LINEX

在线湿法处理设备

适用于清洗与最终清洗、碱性与酸性制绒、单面蚀刻(Singulus专利)、抛光蚀刻和去磷硅玻璃;在线臭氧清洁与蚀刻

德国新格拉斯科技集团在合理利用资源的基础上为高效生产流程开发创新技术,其核心竞争力在于湿法化学工艺、真空溅射技术、蒸发、PECVD,表面技术和热加工等专业技术。集团旨在巩固现有核心竞争力的同时开发新的解决方案,并借此拓展新的业务,将其掌握的自动化技术、工艺技术和工艺步骤整合技术运用到新的应用领域。

PV技术为世界发电

德国新格拉斯科技集团为晶硅和薄膜高效太阳能电池提供技术解决方案,其生产的设备在提高电池效率的同时降低生产成本。

集团为客户提供适用于生产BSF,PERC,异质结和CIGS/CdTe太阳能电池的设备,其核心技术包括真空薄膜镀膜(PECVD,溅射、蒸发),表面工程、湿法化学处理和热加工等专有技术。

德国新格拉斯科技集团携手世界各地的电池制造商共同改进生产工艺,在提高太阳能电池的效率的同时降低生产成本。电池概念方面的进展,如PERC(PERC/PERT)、双面PV产品、以及向n型材料、异质结电池或IBC电池的转型将推动晶硅太阳能电池的未来。

德国新格拉斯科技集团为用于标准及高效电池生产线和超薄玻璃片的硅晶片湿法处理提供完整的自动化干进/干出解决方案。

不断完善的工艺管理理念和创新解决方案的集成为新一代水平是湿法处理设备的开发奠定了基础。

LINEX是用于清洁和蚀刻晶体太阳能硅晶片的水平式在线湿法处理平台,将先进的运输系统、可持续的创新工艺模块与成熟而有效的化学蚀刻和清洁工艺进行完美结合。

除了制绒、去磷硅玻璃蚀刻或清洁等成熟的工艺,设备还适用于较新颖的单面或双面工艺应用,例如抛光蚀刻、发射极蚀刻和臭氧或超声清洁等。高度集成的设计、高产能、高可靠性和低破损率使LINEX获得世界各地的太阳能电池制造商青睐。

LINEX主要特征

  • 可作研发工具,完全集成后为10路设备
  • 在5路或10路设备中碱化工艺可达95 °C
  • 抛光蚀刻和SSE至10微米
  • 每个在线工艺都能集成臭氧工艺
  • 晶圆表面介质流动均匀
  • 线路流动条件一致
  • 易集成新/附加工艺选项
  • 最高可达99%的稼动率
  • 高产量和最优性能
  • 低运行成本
  • 低至0.01%的破损率
  • 占地面积小
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