VITRUM II

在线湿法设备,用于蚀刻,清洗与单面镀膜

VITRUM II Cover是VITRUM 系列产品中的新工艺设 备,专门用于以单一工序来清洁薄膜太阳能电池的 后侧和边缘部位包裹的涂层。在用刷子和化学品清 洁边缘和后侧的同时,活性层得到了工艺罩的保 护。因此VITRUM II 罩最适用于槽式镀膜工艺过程 之后的清洁,以及对后侧和边缘不需要的覆膜进行 蚀刻,如CdTe 或 CdS。

VITRUM II 的模块化设计便于根据CIS、 a-Si 或 CdTe 技术(蚀刻、后侧和衬底边缘蚀刻、清洗以 及单侧覆膜)整合不同工序。

VITRUM II Clean

  • 在线清洁设备(2200/1400/600)
  • 预冲洗和单侧刷洗(酸/腐蚀剂)
  • 在线最终冲洗(瀑布式清洗机),无金属
  • 在线标准冲洗、抛光与刷涂机(玻璃腐蚀)
  • 超声波和兆声波辅助(颗粒去除)

VITRUM II蚀刻

  • 在线蚀刻设备(2200/1400/600)
  • 在线TCO蚀刻机(HCl/HF)
  • 在线 KCN蚀刻机
  • 在线NP蚀刻机
  • 在线CuCl2蚀刻机
  • 在线光刻胶显影剂
  • 在线CdCl2去除

VITRUM II Cover

  • 在线蚀刻设备
  • 去除边缘和背面周围包裹的涂层
  • 活性层保护(液体或水蒸气都无法侵袭到活性层)

VITRUM II Coat

  • 通过软体滚芯进行薄盐膜的在线湿法 沉积(如CdCl2、CuCl2 或 NaCl)
  • 自动过程控制
  • 单侧覆膜
  • 极高的材料利用率

 





主要特点

  • 模块化设计
  • 最多节省30%的成本
  • 更容易的进入维护
  • 占地面积较小
  • 使用成本低
  • 高产能
  • 高可靠性(架动率> 99 %*)
  • 标准衬底和客户定制的衬底最大达2,600 毫米
  • 高产能平行载具
  • 可重复的工艺结果

* 取决于具体应用

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