VISTARIS
垂直定向运输在线式溅射设备

德国新格拉斯科技集团旗下的VISTARIS设备满足了光伏产业尤其是CIGS/CIS薄膜电池生产的要求。凭借先进的工艺技术,VISTARIS能够在提高薄膜电池效率的同时降低生产成本。在光伏技术方面,集团开发并制造的镀膜设备可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜。在线式溅射设备对现今的薄膜太阳能电池生产起着关键的作用。

以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多层前驱体涂层为例,该设备的主要优势在于,它可对太阳能和显示屏产业所需的玻璃衬底进行真空立式镀膜。此外,还为CIGS/CIS电池生产添加了新的工艺阶段。

PV应用的标准靶材

  • 标准溅射材料如
    ITO、AZO、CuGa、Cu、In、AZO、i-ZnO等
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