垂直运输基材的在线溅射设备

适用于不同应用的模块化设备

VISTARIS溅射设备

德国新格拉斯科技集团为满足光伏产业的需求研发了VISTARIS设备,这类在线式溅射设备对如今的CIGS & CdTe薄膜电池生产起着重要的作用。凭借先进的工艺技术,VISTARIS能够在提高薄膜电池效率的同时降低生产成本。在光伏技术方面,集团开发并制造的镀膜设备可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜。

以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多层前驱体涂层为例,该设备的主要优势在于,它可对太阳能和显示屏产业所需的玻璃衬底进行真空立式镀膜。此外,还为CIGS/CIS电池生产添加了新的工艺阶段。

标准性能数据

  • 集成供电设计
  • 不需来回运输
  • 完全垂直定向运输
  • 独特的运送系统
    在设备同一侧装载和卸载基板
  • 通过使用旋转圆柱形磁电管实现最大程度使用靶材
  • 沉积前和沉积中可控制温度
  • 通过动态阀和/或独立闸室分离气体
  • 通过改变腔室方向达到最小占地面积
  • 简易维护,低运行成本
  • 快速更换靶材,适用于各供应商的靶材
    易于扩大生产
  • 真空底压:< 1 x 10-6mbar
  • 标准工艺压力:2 - 5 x10-3mbar
OK

We use cookies to ensure the functionality and security of this website. In addition, third parties may set up individual documents and pages cookies. By using this site, you agree to the use of cookies.

For more information on changing this setting, and the cookies used can be found at this link.