CISARIS

硒化反应炉,用于形成理想的CIGS吸收层

CISARIS 反应炉是一种在线快速热处理RTP设备,用于在大面积玻璃衬底上形成CIGSSe吸收层。CISARIS由一个装卸站、一个真空密封工艺站以及一个回转传送带构成,是大规模生产CIS太阳能组件的理想设备。

CISARIS的主要特点包括高开动率、高机械成品率、快生产节拍,再加上强大的硒化工艺,根据配置的不同,能实现年均25MWp以上的生产能力。

CISARIS最近由德国新格拉斯科技集团根据上一代的硒化反应炉研发而成,是一种成熟而富于创新而可靠的设备。

CISARIS可以在温度高达600°C以上的有毒腐蚀性气体环境中,对1平方米以上的大型玻璃衬底进行安全的热加工。出色的加热和冷却速度,再加上在各加工阶段都能保持优异的温度均匀性,使得生产高效能太阳能模块所需的理想CIGSSe吸收层得以形成。

主要特点

  • 第二代在线硒化加热炉,优化了生产节拍
  • 对带有金属前驱体涂层(CIG) 的玻璃衬底进行快速加热(高达4°C/秒)
  • 均匀的气体分布,通过优化进气系统而降低了耗气量
  • 可在各种工艺过程阶段引进硫化氢和硒化氢气体
  • 通过运用优化的红外线辐射器而将大型衬底均匀加热到 600°C以上,从而按要求保证结晶质量
  • 将衬底均匀冷却,避免玻璃翘曲变形
  • 在各工艺过程阶段都能实现优异的温度控制(平均温度变化<5°C)
  • 在大气压强下进行真空工艺处理
  • 通过抽真空和吹扫循环保证了工艺过程环境中没有氧气和水蒸气
  • 先进的维修理念,所有机器部件都能最方便维护
  • 成熟的安全系统源于可靠的风险管理和安全工程设计
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