SILEX II

适用于标准和高效太阳能电池技术(PERC, HJT, IBC)的模块化自动槽式湿法处理设备

德国新格拉斯科技集团为标准及高效电池生产线中的硅晶片湿法化学处理提供完整的自动干进/干出解决方案。

模块化SILEX II槽式设备提供多种工艺选项。为了实现设计的最大灵活性,新一代SILEX II设备采用透明模块化设计,占地空间紧凑。该设备满足了目前和未来大规模生产对于产能、灵活性和稳定性的需求。

SILEX II 3000能实现高达3000 wph的产量。SILEX II 6000升级了工艺槽尺寸,能达到6000wph的产量,拥有极高的工艺良率和低至0.01 %的破损率。

SILEX II 湿法处理设备

SILEX II ALTEX设备使用无异丙醇制绒工艺,较之传统蚀刻设备能显著节省成本。该制绒工艺可根据标准和先进电池技术各自的需求进行调整。

SILEX II CLEANTEX将传统的单晶硅蚀刻和清洁步骤与先进清洁和调试工艺相互结合。高效清洁步骤会是今后电池生产线中不可或缺的一部分,是进一步改进电池性能和降低成本的关键。基于臭氧工艺的清洁操作在SILEX II湿台架上进行,在进行表面修整的同时能有效去除有机和金属。由于化学品的成本和消耗量较低,工艺控制简单且金属去除效率较高,臭氧化酸洗已成为半导体行业公认的替代传统、昂贵的多步骤RCA清洁的理想解决方案。

SILEX II CLEAN适用于沉积工艺前/后的清洗步骤。根据电池工艺流程和需求,可针对RCA、臭氧清洁或轻微蚀刻工艺单独进行配置

传统和先进工艺应用

标准特征

  • 高达6000wph的产量
  • 稼动率可达95%
  • 破损率低至0.01%
  • 硅片厚度低至120μm
  • 个性化灵活工艺排序
  • 机载调节产能的调度软件
  • 机载性能分析软件
  • 臭氧强化清洁和蚀刻工艺
  • 迅速、稳定的无异丙醇制绒工艺
  • 合理有效的冲洗和干燥

 

 

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