SINGULAR XP

创新的SINGULAR XP工具基于静态在线式生产,集在线式衬底传输和静态加工的优点于一身。

SINGULAR

全自动 ICP-PECVD研发平台

SINGULAR系统具有自动化模块和镀膜模块。镀膜模块由多个可定制的真空腔组成。

创新的SINGULAR工具以静态在线式生产为基础,集在线式衬底传输和静态加工的优点于一身。它方便了复杂膜层的镀膜,例如AlOx/SiNy等不同材料的堆积。这一工具的关键特点在于ICP-PECVD技术。

电感耦合等离子体(ICP)的激发可以在高沉积速度下完美控制SiNx、AlOx、 SiOxNy等各种材料的膜层性能。工艺的多样性,较小的工具占地面积,再加上低廉的总体“购置成本”,使得SINGULAR成为为现有生产线实现升级换代的理想之选。SINGULAR有助于开发新的制造工艺,使成熟研发平台生产的电池效能提高至20 %以上。

 

 

     

 

 

  



SINGULAR 主要特点

新格拉斯集团通过该系统为持续提升光伏模块的效能和降低其制造成本做出了宝贵贡献。而这二者正是降低光伏度电成本并实现大规模发电的前提条件。

  • 业内成熟的多腔ICP-PECVD镀膜工具
  • 低廉的购置成本
  • 适合多种工艺的模块化设计(如SiNx、SiOxNy、AlOx、 a-Si ...)
  • 单层和多层镀膜能力
  • 双面镀膜能力
  • 占地面积小
  • 电器柜与气体柜集成于设备之中
  • 有效利用电力、加工气体等原材料
  • 低噪音(无需灰区 )
  • 工作时间长
  • 便于操作
  • 便于维修
  • 在线式清洁工序(例如清洁a-Si)
  • 定制工具配置,如使用TMB、磷化氢等特别气体,TMAl 等有机前驱体
  • 集成的自动化解决方案
  • 可进行在线式集群操作
  • 可使用各类自动片架盒

 

 

 

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