SINGULAR XP

创新的SINGULAR XP工具基于静态在线式生产,集在线式衬底传输和 静态加工的优点于一身。

全自动 ICP-PECVD生产平台

SINGULAR设备具有自动化模块和涂层模块。涂层模块由多个可定制的真空腔组成。

创新的SINGULAR工具以静态在线式生产为基础,集在线式衬底传输和静态加工的优点于一身。它实现了复杂膜层的涂层,例如AlOx/SiNy等不同材料的堆积。这一工具的关键特点在于ICP-PECVD 技术。

电感耦合等离子体(ICP)的激发可以在高沉积速度下完美控制SiNx、AlOx、 SiOxNy等各种材料的膜层性能。工艺的多样性、较小的工具占地面积和低廉的总体“购置成本”使得SINGULAR成为晶硅太阳能电池研发和试生产的理想之选。

 

 

主要特点

德国新格拉斯科技集团通过该设备为持续提升光伏模块的效能和降低其制造成本做出了宝贵贡献。而这二者正是降低光伏度电成本并实现大规模发电的前提条件。

  • 多腔ICP-PECVD涂层工具
  • 适合多种工艺的模块化设计(如SiNx, SiOxNy, AlOx, a-Si …)
  • 单层和多层涂层能力
  • 双面涂层能力
  • 占地面积小
  • 电器柜与气体柜集成于设备之中
  • 有效利用电力、加工气体等原材料
  • 低噪音(无需灰区 )
  • 便于操作
  • 便于维修
  • 在线式清洁工序(例如清洁SiNx)
  • 定制工具配置,如使用TMB、磷化氢、TMAl或DEZn 等有机前驱体
  • 集成的自动化解决方案
  • 可进行在线式集群操作
  • 可使用各类自动片架盒
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